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09
2021
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真空泵机组应用领域
真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器
真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④医疗设备行业:牙科仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与药品制备;⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的最佳配置。它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低，容积效率高。采用空气冷却，无需水冷。
涡旋真空泵具有较高的压缩比，在较宽的压力范围内具有稳定的抽速，由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，这是其他类型的干式真空泵所不具备的。为实现涡旋泵有效工作的目的，必须使涡旋型线在各个真空气腔良好啮合，避免由于真空腔压差大等因素导致涡旋壁受力情况恶化、产生热变形、排气腔一部分高压气体滞留和真空泵效率降低等情况。所以要保证涡旋型线之间的精确包容与啮合，控制工作介质的泄漏，达到抽气目的。这是涡旋泵结构设计的重要依据。在泵的抽气流道中，无须使用任何油类和密封液体作为介质，依靠动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔将被抽气体排出，连续完成吸气、压缩和排气过程。因此，如何防止泄漏解决密封的问题尤为重要。涡旋泵的密封主要包括轴向啮合间隙的径向密封，和径向啮合间隙的切向密封，即齿侧密封。
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